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S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜

更新:2016/10/24 15:10:25      点击:
  • 品牌:   日立电子
  • 型号:   S-3700N多功能分析型
产品介绍

S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜

 

研究超大,超重,超高样品的分析型扫描电镜

 

 最大可载样品直径达300mm
 最大观察区域直径达203mm
 在观察110mm高样品时可进行能谱分析
 样品室设置多种接口,可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
 5轴优中心马达台可以倾斜--20°~+90° 
 采用节能,清洁的涡轮分子泵

 

S-3700N技术参数

 

 

分辨率 SE 3.0nm,30KV(高真空模式)
10nm, 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm,30KV(低真空模式)
放大倍率 x5~x300,000
加速电压 0.3~30KV
低真空范围 6~270Pa
图像电位移 ±50μm (工作距离 10mm)
最大装载样品 直径300mm

 

 

样品台

 

 

X 150mm
Y 110mm
Z 5~65mm
R 360°
T -20°~90°
观测区域 203mm直径
样品最大高 110mm(工作距离10mm)
样品台类型 优中心马达台

 

 

电子光学系统

 

 

灯丝 预对中灯丝
物镜光阑 4孔活动光阑4孔活动光阑
枪偏压 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
探测器 二次电子探头
5分割半导体式被散射探头
分析位置 工作距离10mm,取出角35°

 

 

显示控制系统
 

控制模式 键盘鼠标、操纵杆、旋钮板
显示器 液晶显示器
辅助功能 3D动画演示功能
电镜操作导航功能
样品操作导航功能
倾斜补偿功能
存储图像精度 640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840
图片格式 BMP, TIFF, JPEG
图像显示模式 全屏模式:1280 x 960
标准模式:640 x 480
分割模式:640 x 480 点 x 2
信号混合模式

 

 

真空系统

控制模式 全自动
分子 210升/秒,一台
机械泵 135升/分,一台
保护措施 断电保护、漏气保护