S-3700N 多功能分析型可变压扫描电镜

 

研究超大，超重，超高样品的分析型扫描电镜

 

● 最大可载样品直径达300mm
● 最大观察区域直径达203mm
● 在观察110mm高样品时可进行能谱分析
● 样品室设置多种接口，可安装EDS、WDS、EBSD和CL等多种分析用附件
● 5轴优中心马达台可以倾斜--20°~+90° 
● 采用节能，清洁的涡轮分子泵

 

S-3700N技术参数

 

 

分辨率	SE 3.0nm，30KV(高真空模式) 10nm， 3KV(高真空模式) BSE 4.0nm，30KV（低真空模式）
放大倍率	x5~x300，000
加速电压	0.3~30KV
低真空范围	6~270Pa
图像电位移	±50μm （工作距离 10mm）
最大装载样品	直径300mm

 

 

样品台

 

 

X	150mm
Y	110mm
Z	5~65mm
R	360°
T	-20°~90°
观测区域	203mm直径
样品最大高	110mm（工作距离10mm）
样品台类型	优中心马达台

 

 

电子光学系统

 

 

灯丝	预对中灯丝
物镜光阑	4孔活动光阑4孔活动光阑
枪偏压	固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压
探测器	二次电子探头 5分割半导体式被散射探头
分析位置	工作距离10mm，取出角35°

 

 

显示控制系统
 

控制模式	键盘鼠标、操纵杆、旋钮板
显示器	液晶显示器
辅助功能	3D动画演示功能 电镜操作导航功能 样品操作导航功能 倾斜补偿功能
存储图像精度	640 x 480 , 1280 x 960 2560 x 1920 , 5120 x 3840
图片格式	BMP, TIFF, JPEG
图像显示模式	全屏模式：1280 x 960 标准模式：640 x 480 分割模式：640 x 480 点 x 2 信号混合模式

 

 

真空系统

控制模式	全自动
分子	210升/秒，一台
机械泵	135升/分，一台
保护措施	断电保护、漏气保护